項目 | 単位 | 仕様 | |
---|---|---|---|
タイプ | P型/N型 | ||
結晶成長法 | VGF | VGF | |
ドーパント | Fe | S、Sn、Zn、無ドープ | |
直径 | inch | 2~4 | 2~4 |
面方位 | (100) ± 0.5° | (100) ± 0.5° | |
オリフラ方位 | US、EJ | US、EJ | |
抵抗率 | Ω·cm | ≥0.5 × 107 | |
キャリア濃度 | cm-3 | N/A | (0.8-8) × 1018/(1-10) × 1015/(0.8-8) × 1018 |
電子移動率(Mob) | cm2/v.s | ≥1000 | 1000~2500/3000~5000/50~100 |
転位密度(EPD) | cm2 | 1500~5000 | 100~5000/≥5000/≥500 |
厚さ | μm | (350~675) ± 25 | (350~675) ± 25 |
TTV (P/P) | μm | ≤10 | ≤10 |
TTV (P/E) | μm | ≤15 | ≤15 |
Warp | μm | ≤15 | ≤15 |
面仕上げ | Sides 1 & 2 | ミラー/エッチング | |
梱包方法 | コインロール/カセットケース | コインロール/カセットケース |