膜付ウェーハ | シリコンウェーハのことなら豊港化学

膜付ウェーハ

ウェーハへの膜付加工を行った製品を「膜付ウェーハ」と呼びます。ウェーハの成膜プロセスには、絶縁膜としての層間絶縁材料、導電材料としての金属膜、プロセス材料としてのレジストなど、また保護膜などが含まれます。

3～4インチ膜付きシリコンウェーハ

下記は当社保有のスパッタリングターゲットです。自由な組み合わせで膜付きウェーハが作成可能です。

METALS	Au、Al、Ag、B、C、Co、Cr、Cu、Fe、Ge、Hf、In、Ir、Mg、Mn、Mo、Nb、Ni、Pd、Pt、Rh、Ru、Si（N型）（1～50Ω･cm）、Si（P型）（1～50Ω･cm）、Si（N型）（高抵抗）（1000 Ω･cm以上）、Si（N型）（高抵抗）（5000 Ω･cm以上）、Sn、Ta、Ti、V、W、Y、Zn、Zr
SILICIDES	CoSi₂、MoSi_2.5、NiSi₂、TaSi₂、TiSi₂、WSi₂、WSi_2.5、ZrSi₂、CrSi₂
NITRIDES	AlN、BN、Mo₂N、Si₃N₄、ZrN
CARBIDES	SiC、TiC
ALLOYS	Al-Cu、Al-Nd、Al-Sc、Al-Si、Al-Si-Cu、Al-Ti、Au-Sn、Cu-Ni、Co-Cr、Fe-Co、Ni-Cr、Ni-Fe、Ni-V、TiW
OXIDES	Al₂O₃、AZO、BaTiO₃、CeO₂、CuO、Fe₂O₃、Ga₂O₃、Gd₂O₃、HfO₂、In₂O₃、ITO、IZO、LiCoO₂、LiMn₂O₄、LiNbO₃、Li₃PO₄、MgO、Mn₂O₃、Nb₂O₅、NiO、PZT、RuO₂、SiO、SiO₂、SnO、SnO₂、SrRuO₃、SrTiO₃、Ta₂O₅、TiO₂、WO₃、Y₂O₃、ZnO、ZrO₂ : Y₂O₃

4～6インチ熱酸化膜付きウェーハ

仕様
サイズ	4インチ	6インチ
直径	100 ± 0.5 mm	150 ± 0.5 mm
導電型	P型
抵抗値	1～100 Ω·cm
厚さ	525 ± 25 μm	625 ± 25 μm
熱酸化膜厚	500 nm ± 10％
数量	25枚から

【特記事項】

Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。

※ 在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。

4～6インチ熱酸化膜10000 Å（両面）付Siウェーハ

仕様
サイズ	4インチ	6インチ
直径	100 ± 0.2 mm	150 ± 0.2 mm
厚さ	525 ± 25 μm	625 ± 25 μm
導電型	P型
面状態	⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド
抵抗値	1～100 Ω·cm
熱酸化膜厚	10000 Å ± 10％
数量	25枚から

【特記事項】

Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。

※ 在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。

6インチ熱酸化膜20000 Å（両面）付Siウェーハ

仕様
サイズ	4インチ
直径	150 ± 0.2 mm
厚さ	625 ± 25 μm
導電型	P型
面状態	⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド
抵抗値	1～100 Ω·cm
熱酸化膜厚	20000 Å ± 10％
数量	25枚から

【特記事項】

Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。

※ 在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。

6インチ熱酸化膜100000 Å（両面）付Siウェーハ

仕様
サイズ	6インチ
直径	150 ± 0.2 mm
厚さ	625 ± 25 μm
導電型	P型
面状態	⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド
抵抗値	1～100 Ω·cm
熱酸化膜厚	100000 Å ± 10％
数量	25枚から

【特記事項】

Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。

※ 在庫品ではありません。納期は受注後8～9週間程かかります。
※ 特注の厚膜品のため、膜の密着性等の保証は不問となります。