項目 | 単位 | 仕様 | |
---|---|---|---|
結晶成長方法 | CZ/VGF | ||
タイプ | N型 | P型 | |
ドーパント | As、Sb | Ga | |
直径 | inch | 2~6 | |
面方位 | (100) ± 0.5° | ||
オリフラ方位 | US、EJ | ||
厚さ | μm | (175~500) ± 25 | |
抵抗率 | Ω·cm | 0.005~30 | 0.005~0.04 |
転位密度(EPD) | cm2 | - | 0 |
TTV | μm | ≤15 | ≤15 |
Warp | μm | ≤25 | ≤25 |
裏面の粗さ(Ra) | μm | <0.1 | <0.1 |
面仕上げ | 主面/裏面 | ミラー/エッチング、エッチング/エッチング | |
梱包方法 | コインロール/カセットケース |