シリコンウェーハ
2インチ～12インチまでの半導体用基板として使用されるシリコンウェーハをお客様のご利用用途やご要望に合わせてご提供いたします。
大手メーカー製品の充実の製品で、数多くのメーカー様や大学・研究所様のご利用目的やプランニングに最適なウェーハをご提供させて頂きます。
ご要望に合わせた確かな品質のウェーハの供給を実現いたします。
| 項目 | 単位 | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 8 | 12 |
| 厚み | μm | 280 ± 25 | 380 ± 25 | 525 ± 25 | 625 ± 25 | 625 ± 25 | 725 ± 25 | 775 ± 25 |
| 製法 | - | CZ/FZ | ||||||
| 結晶方位 | - | <100>/<111>/不問 | ||||||
| タイプ | - | P/N/不問 | ||||||
| 抵抗率 | Ω·cm | 0.01～1,000 | ||||||
| 表面仕上 | - | 両面/片面ミラー | ||||||
| 裏面仕上 | - | 両面/片面ミラー | ||||||
| 梱包形態 | - | コインロール/カセットケース | ||||||
シリコンインゴット
製品説明
- CZ法（チョクラルスキー法）と呼ばれる製造方法によりシリコンウェーハの材料となる単結晶インゴットを製造しています。
- 主にデバイス製造工程の一つであるエッチングプロセスに使われ、極めて重要な消耗材料です。弊社がお客様の要求に応じて、各種のサイズと抵抗率のシリコンインゴット製品を提供できます。
| 直径（mm） | タイプ | 結晶方位 | 純度 | 抵抗値（Ω·cm） | 長さ |
|---|---|---|---|---|---|
| φ200～φ550 | P | <100>/<111> | 10～11 N | ≤0.01 | オーダーメイド |
| 1～4 | |||||
| 60～90 | |||||
| オーダーメイド |
ダミーウェーハ
強み
- 豊富な取り扱い製品
- 多品種のシリコンウェーハを豊富に取り揃えております
- 小ロット対応可能
- お客様の要望を丁寧に細かく対応致します
- 短納期
- 豊富な在庫により短納期を実現しております
- 柔軟な対応
- 在庫ウェーハでカバーできない規格もインゴットから加工対応
弊社では、丁寧なヒアリングを行いお客様のニーズにあった最適なウェーハをご提案させていただきます。
カセットケース入り、コインロールケース入りなどご希望に合わせた形態で発送いたします。
タイプや厚みを不問としさらにコストを抑えるウェーハの販売も可能です。
特徴
実験やテストで使用することが多い為、サイズや厚みも様々です。再生ウェーハを用いる場合もあります。
また、パーティクル管理されたシリコンウェーハ製品と比べると安価であり、小ロットでの出荷にも対応できるのがダミーウェーハの特徴です。
製造装置ではプロセスの安定性を上げるため最初の数枚ダミーウェーハを投入したり、製造プロセスの最適化とモニタリングに用います。ダミーウェーハはデバイス製造には向きませんが、モニタリングやテストには十分適しており、新品のウェーハの代わりに多く利用されています。
ダミーウェーハはウェーハ製造のあらゆる工程におけるテスト、調整で重要な働きをするウェーハなのです。
| 項目 | 規格 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 8 | 12 |
| 製法 | CZ/FZ | ||||||
| タイプ | P型/N型/不問 | ||||||
| 結晶方位 | ＜100＞/＜111＞/＜110＞/不問 | ||||||
| ノッチ/オリフラ方位 | ＜100＞/＜111＞/＜211＞/不問 | ||||||
| 厚み（μm） | 280 | 380 | 525 | 625 | 625/675 | 725 | 775 |
| 厚み公差（μm） | 20 | 20 | 25 | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 比抵抗（Ω·cm） | 0.005～/不問 | ||||||
| オリフラ | オリフラ | オリフラ | オリフラ | オリフラ | ノッチ/オリフラ | ノッチ/オリフラ | ノッチ |
| 面仕上げ | 片面ミラー（MP/ET）/両面エッチド（ET/ET） | 両面ミラー（MP/MP） | |||||
| パーティクル | 不問 | ||||||
| 数量 | 25枚からご注文承ります。 | ||||||
| 梱包形態 | コインロール/カセットケース | ||||||
| 備考 | 6インチのオリフラ規格は、JEITA，SEMIどちらも対応可能です。 | ||||||