MgAl2O4 スピネル
MgAl2O4 単結晶は、尖晶石構造を有する酸化物単結晶材料で、優れた耐熱性・化学安定性を備えています。
Ga2O3 や GaN などのワイドバンドギャップ半導体のエピタキシャル成長用基板をはじめ、先端材料研究分野で幅広く利用されています。
特徴：高結晶安定性／耐熱・耐薬品性／良好な加工性
用途：Ga2O3・GaN 外延基板、酸化物半導体研究、光学材料用途
物性
| 組成 | MgAl2O4 (MgO:Al2O3=1:1） |
|---|---|
| 結晶系 | 立方晶 |
| 結晶構造 | スピネル型 |
| 格子定数 | a = 0.8083 nm |
| 融点 | 2130 ℃ |
| 密度 | 3.64 g/cm3(20 ℃) |
標準仕様
| サイズ (外形公差：±0.1mm 厚み公差：±0.05 mm) |
10 × 10 × 0.5 t 15 × 15 × 0.5 t |
|---|---|
| 面方位 (公差：±0.5°） |
(100), (111) |
| 研磨 | 片面研磨、両面研磨 |
| 表面粗さ | Ra ≦ 1.0 nm Rmax ≦ 5.0 nm |