エッチング装置向けシリコンパーツ
フォーカスリング、エッジリング、シリコン電極、その他プラズマエッチング用シリコン部品
カスタム加工品
シリコンプレート、シリコンリング、各種加工部品
シリコン材料（部品加工用）
大口径シリコンインゴット、半導体装置部品加工用素材
