エッチング装置向けシリコンパーツ
半導体製造装置向けの高純度シリコン部品を提供しております。
優れた耐プラズマ性、低パーティクル特性および高精度加工により、ドライエッチング装置などの半導体製造プロセスに対応しております。
主な製品
- フォーカスリング
- エッジリング
- シリコン電極
- C-Shroud
- アウターリング
- その他プラズマエッチング用シリコン部品
| 製品名 | サイズ（参考） |
|---|---|
| シリコン電極 | φ320～450 mm × t10～25 mm |
| C-Shroud | φ530 mm × t30～65 mm |
| アウターリング | φ350～450 mm × t10～25 mm |
| フォーカスリング | φ320 mm × t3～7 mm |