カスタム加工品
半導体製造装置向けに、高純度単結晶シリコンを使用した各種精密加工品を提供しております。
お客様の図面や仕様に合わせ、サイズ・形状・結晶方位・抵抗率など、ご要望に応じたカスタム加工に対応しております。
シリコンプレート
| 製品名 | 仕様 |
|---|---|
| 外径 | Φ475 mm以下 |
| 結晶方位 | (100)、(111) |
| 導電型 / ドーパント | P型 / ボロン |
| 抵抗率(Ω・cm) | 0.01~100 |
| 厚さ | カスタム対応 |
| その他仕様 | カスタム対応 |
シリコンリング
| 製品名 | 仕様 |
|---|---|
| 外径 | Φ300~475 mm |
| 内径 | カスタム対応 |
| 結晶方位 | (100)、(111) |
| 導電型 / ドーパント | P型 / ボロン |
| 抵抗率(Ω・cm) | 0.01~100 |
| 厚さ | カスタム対応 |
| その他仕様 | カスタム対応 |
シリコンシリンダー
| 製品名 | 仕様 |
|---|---|
| 外径 | Φ300~475 mm |
| 内径 | カスタム対応 |
| 長さ | 260 mm以下 |
| 結晶方位 | (100)、(111) |
| 導電型 / ドーパント | P型 / ボロン |
| 抵抗率(Ω・cm) | 0.01~100 |
| 厚さ | カスタム対応 |
| その他仕様 | カスタム対応 |