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シリコンプレート
外径:
<Φ475 mm
オリエンテーション:
(100)、(111)
タイプ/ドーパント:
P/ホウ素
抵抗率(Ω·cm):
≤0.01~100
厚さ:
オーダーメイド
その他:
オーダーメイド