シリコンプレート

  • 外径：<Φ475 mm
  • オリエンテーション：（100）、（111）
  • タイプ/ドーパント：P/ホウ素
  • 抵抗率（Ω·cm）：≤0.01～100
  • 厚さ：オーダーメイド
  • その他：オーダーメイド