シリコンシリンダー

  • 外径:Φ300~475 mm
  • 内径:オーダーメイド
  • 長さ:<260 mm
  • オリエンテーション:(100)、(111)
  • タイプ/ドーパント:P/ホウ素
  • 抵抗率(Ω·cm):≤0.01~100