LiTaO3（タンタル酸リチウム）

LiTaO3（タンタル酸リチウム）は、光学、電子工学、音響分野で広く利用される人工単結晶材料です。特に、非線形光学特性や圧電特性に優れ、さまざまな先端技術の基盤素材として注目されています。ニオブ酸リチウム（LiNbO₃）と類似した物性を持ちながら、熱的・機械的安定性において優れた性能を発揮するため、より過酷な環境や高精度が求められる用途において代替材料として活用されています。

LiTaO3（タンタル酸リチウム）単結晶の製品を提供しております。
2～6インチ
3mm × 3mm ～ 20mm × 20mm
その他

光学グレードLiTaO3基板・ウェーハ

Material LiTaO3 wafers (White or Black)
Curie Temp 603 ± 2℃
Cutting Angle X/Y/Z etc
Diameter/Size 2”/3”/4” LT wafer
Tol (±) <0.20 mm
Thickness 0.18 ~ 0.5mm or more
Primary Flat 16 mm / 22 mm / 32 mm
TTV <3 µm
Warp <40 µm
Surface Type Single Side Polished /Double Sides Polished
Polished Side Ra <0.5 nm
Back Side Criteria General is 0.2-0.5µm or as customized
Edge Criteria R = 0.2mm or Bullnose
Optical Doped Zn/MgO etc
Wafer Surface Criteria Contamination None
Particles >0.3 µm <= 30
Scratch, Chipping None
Defect No edge cracks, scratches, saw marks, stains
Packaging Qty/Wafer box 25pcs per box

SAWグレードLiTaO3基板・ウェーハ

Material LiTaO3 wafers (White or Black)
Curie Temp 603 ± 2℃
Cutting Angle X/Y/Z/X112Y/Y36/Y42/Y48/etc
Diameter/Size 3”/4”/6" LT Wafer
Tol (±) <0.20 mm
Thickness 0.18 ~ 0.5mm or more
Primary Flat 22 mm / 32 mm / 42.5 mm /57.5 mm
LTV (5 mm × 5 mm) <1 µm
TTV <3 µm
Bow -30 < bow < 30
Warp (<0.5 µm) <40 µm
PLTV (<0.5 µm) ≥95% (5 mm × 5 mm)
Orientation Flat All Available
Surface Type Single Side Polished / Double Sides Polished
Polished Side Ra <0.5 nm
Back Side Criteria General is 0.2-0.5 µm or as customized
Edge Criteria R = 0.2 mm or Bullnose
Wafer Surface Criteria Transmissivity general: 5.9 × 10-11 < s < 2.0 × 10-10 at 25℃
Contamination None
Particles >0.3 µm <= 30
Scratch, Chipping None
Defect No edge cracks, scratches, saw marks, stains
Packaging Qty/Wafer box 25pcs per box