ZnO 酸化亜鉛

圧電センサー、ＳＡＷデバイス、ＬＥＤ、シンチレータ、紫外線センサー、トランジスタなど酸化亜鉛は次世代半導体向けの非常に価値の高い製品です。

ZnO・C板 基板標準仕様（+C領域）

※上記の測定値につきましては、代表値を記載しており保証値ではありません。
面方位 0001板（C板・+C領域）
寸法 10mm基板：10.0 mm ± 0.2 × 10.0 mm ± 0.2，t = 0.5 mm ± 0.2
20mm基板：20.0 mm ± 0.2 × 10.0 mm ± 0.2，t = 0.5 mm ± 0.2
角度 各軸方向 0.0° ± 0.5°
表面仕上げ 両面ポリッシング仕上げ
表面粗さ RMS < 1.0nm
不純物濃度 Fe: 0.30 wt%, Li: 0.61 wt%, Al: <0.20 wt%, Ca: 0.11 wt%, Mg: 0.38 wt%, K: 0.82 wt%, Cr: <0.20 wt%
Ni: 0.65 wt%, Na: 0.09 wt%, Ga: 0.16 wt%, Mo: <0.01 wt%, V: <0.01 wt%, Cu: 0.03 wt%
移動度 100～200 cm2/(V·s)
キャリア濃度 1E+15～16 cm3
比抵抗値 0.1～10kΩcm
結晶性 FWHM (0002) < 25 arc seconds

標準サイズ

製品 サイズ
ウエハー 10 × 10 × 0.5 mm
20 × 20 × 0.5 mm
ブロック 10 × 10 × 5～7 mm