YSZ イットリア安定化ジルコニア
YSZ（イットリア安定化ジルコニア）は、ジルコニアにイットリアを添加して結晶構造を安定化させた酸化物材料である。高い耐熱性と化学的安定性を有し、高温での酸素イオン伝導性に優れることから、燃料電池や高温センサー、薄膜成長用基板などに広く利用されている。
物性
| 組成 | Y2O3(10 mol%)-ZrO2(90 mol%) |
|---|---|
| 結晶系 | 立方晶 |
| 結晶構造 | CaF2型 |
| 格子定数 | a = 0.5139 nm |
| 融点 | 2500 ℃ |
| 密度 | 6.05 g/cm3(20 ℃) |
| 誘電率 | 27 |
| 熱膨張係数 | 10.3×10-6/℃ |
標準仕様
| サイズ (外形公差：±0.1 mm 厚み公差：±0.05 mm) |
10 × 10 × 0.5 t 15 × 15 × 0.5 t |
|---|---|
| 面方位 (公差：±0.5°） |
(100), (111) |
| 研磨 | 片面研磨、両面研磨 |
| 表面粗さ | Ra ≦ 1.0 nm Rmax ≦ 5.0 nm |