TiO2 (Rutile) 酸化チタン（ルチル）
酸化チタン（TiO2）は、天然鉱物としてアナターゼ（Anatase）、ブルッカイト（Brookite）、およびルチル（Rutile）の3つの結晶多形を持ちます。その中でもルチル型（Rutile）は、最も安定した結晶構造を持ち、優れた光学特性および化学的安定性を有するため、さまざまな先端分野で活用されています。
物性
| 組成 | TiO2 |
|---|---|
| 結晶系 | 正方晶 |
| 結晶構造 | ルチル型 |
| 格子定数 | a = 0.45935 nm c = 0.29580 nm |
| 融点 | 1840 ℃ |
| 育成方法 | ベルヌーイ法 |
| 密度 | 4.252 g/cm3 (20 ℃) |
| 誘電率 | 113 (1 MHz) |
| 熱膨張係数 (30～400℃） |
(a軸方向）7.81 × 10-6/℃ (c軸方向）10.1 × 10-6/℃ |
| バンドギャップ | 3.0 eV |
| 屈折率 (at 706.5 nm) |
no = 2.5490 ne = 2.8226 |
標準仕様
| 種類 | TiO2 | Nb(0.05 wt%) : TiO2 Nb=0.04 at% | Nb(0.5 wt%) : TiO2 Nb=0.43 at% |
|---|---|---|---|
| 純度 | >99.98 % | >99.98 % | >99.98 % |
| 抵抗率 (Ω・cm) |
>107 | 約5×100 | 約3×10-1 |
| 面方位 （公差：±0.5 °） |
(100) (110) (001) |
(100) (110) (001) |
(100) (110) (001) |
| サイズ (外形公差±0.1 mm 厚み公差±0.05 mm) |
10 × 10 × 0.5 t 15 × 15 × 0.5 t |
10 × 10 × 0.5 t 15 × 15 × 0.5 t |
10 × 10 × 0.5 t 15 × 15 × 0.5 t |
| 研磨 | 片面、両面 | 片面、両面 | 片面、両面 |
| 表面粗さ | Ra ≦ 1.0 nm Rmax ≦ 5.0 nm |
Ra ≦ 1.0 nm Rmax ≦ 5.0 nm |
Ra ≦ 1.0 nm Rmax ≦ 5.0 nm |
| 平坦度 (λ = 632.8 nm) |
10 × 10 × 0.5 t : ≦λ 15 × 15 × 0.5 t : ≦1.5λ |
10 × 10 × 0.5 t : ≦λ 15 × 15 × 0.5 t : ≦1.5λ |
10 × 10 × 0.5 t : ≦λ 15 × 15 × 0.5 t : ≦1.5λ |