MgO 酸化マグネシウム
酸化マグネシウム単結晶(MgO )は、岩塩型立方晶構造を有する高融点・高絶縁性材料であり、耐熱性に優れる。表面平坦性が高く、金属薄膜や酸化物薄膜のエピタキシャル成長用基板として広く利用されている。
物性
| 組成 | MgO |
|---|---|
| 結晶系 | 立方晶 |
| 結晶構造 | NaCl型 |
| 格子定数 | a = 0.4213 nm |
| 融点 | 2800 ℃ |
| 密度 | 3.59 g/cm3(20 ℃) |
| 誘電率 | 10 |
| 熱膨張係数 | 13.5 × 10-6/℃ |
| 潮解性 | 有 |
標準仕様
| サイズ (外形公差:±0.1mm 厚み公差:±0.05mm) |
10 × 10 × 0.5 t 15 × 15 × 0.5 t |
|---|---|
| 面方位 (公差:±0.5°) |
(100) |
| 研磨 | 片面研磨、両面研磨 |
| 表面粗さ | Ra ≦ 1.0 nm Rmax ≦ 5.0 nm |