ランタンアルミネート LaAlO3
ランタンアルミネートLaAlO3は、ペロブスカイト型構造を持つ酸化物セラミック材料で、主にエピタキシャル成長用基板として使用される高機能材料です。

物性
組成 | LaAlO3 |
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結晶系 | 三方晶(擬立方晶)※ |
結晶構造 | 擬ペロブスカイト構造 |
格子定数 | a=0.379 nm (擬立方晶系表示) |
融点 | 2100 ℃ |
育成法 | CZ法 |
密度 | 6.52 g/cm3 (20 ℃) |
誘電率 | 15~22 (300 K, 1MHz) |
熱膨張係数 | 12.6×10-6/℃ |
相転移温度 | 420℃ (三方晶⇔立方晶) |
双晶 | 相転移に伴い発生 |
標準仕様
サイズ (外形公差:±0.1mm 厚み公差:±0.05mm) |
10×10×0.5 t 15×15×0.5 t |
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面方位 (公差:±0.5°) |
(100), (110) ※擬立方晶系表示 |
研磨 | 片面研磨、両面研磨 |
表面粗さ | Ra≦1.0 nm Rmax≦5.0 nm |