SOIウェーハ
4インチ~12インチの高品質SOIウェーハをご提供いたしております。
SOIウェーハは、最上層(デバイス層)、中間の酸化物層(絶縁SiO2層)、最下部の基板(ハンドル シリコン)の合計3層の構造です。SIMOX法とウェーハボンディング技術を使用して製造されます。より薄く、より正確なデバイス層、均一な厚さ、および低い欠陥密度を実現できます。
SOIウェーハは、高速および低電力デバイス向けの優れたソリューションを提供し、高電圧およびRFデバイス向けの新しいソリューションとして広く認識されています。
弊社では4~12インチにおいて多仕様・高品質基板の加工と供給を実現しております。
活性層の厚みは1μm以上から対応可能で、各種デバイス開発や研究など多様なシーンにご利用頂いております。
埋込み酸化膜や抵抗値などご要望に合わせたご提案が可能です。
SOIウェーハ製品仕様対応表
サ イ ズ | inch | 4 | 5 | 6 | 8 | 12 |
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活 性 層 | Unit | 仕様 | ||||
製 法 | - | CZ / FZ | ||||
タ イ プ・導 電 型 | - | P / N / ノンドープ | ||||
結 晶 方 位 | - | <100> / <111> / <110> | ||||
ド ー パ ン ト | - | B、P、As、Sb | ||||
厚 み | μm | ≧1.0 | ||||
*抵 抗 率 | Ω・㎝ | 0.001 ~ 10000 | ||||
*埋 込 み 酸 化 膜 | μm | 0.05 ~ 10 | ||||
支 持 基 板 | 仕様 | |||||
製 法 | - | CZ / FZ | ||||
タ イ プ・導 電 型 | - | P / N / ノンドープ | ||||
結 晶 方 位 | - | <100> / <111> / <110> | ||||
ド ー パ ン ト | - | B、P、As、Sb | ||||
*厚 み | μm | JEITA・SEMI標準 / 200 ~ 1500 | ||||
*抵 抗 率 | Ω・㎝ | 0.001 ~ 10000 | ||||
備 考 | *詳細仕様は別途お問合せ下さい |