SOIウェーハ

4インチ~12インチの高品質SOIウェーハをご提供いたしております。

SOIウェーハは、最上層(デバイス層)、中間の酸化物層(絶縁SiO2層)、最下部の基板(ハンドル シリコン)の合計3層の構造です。SIMOX法とウェーハボンディング技術を使用して製造されます。より薄く、より正確なデバイス層、均一な厚さ、および低い欠陥密度を実現できます。
SOIウェーハは、高速および低電力デバイス向けの優れたソリューションを提供し、高電圧およびRFデバイス向けの新しいソリューションとして広く認識されています。
弊社では4~12インチにおいて多仕様・高品質基板の加工と供給を実現しております。
活性層の厚みは1μm以上から対応可能で、各種デバイス開発や研究など多様なシーンにご利用頂いております。
埋込み酸化膜や抵抗値などご要望に合わせたご提案が可能です。

SOIウェーハ製品仕様対応表

サ イ ズ inch 4 5 6 8 12
活 性 層 Unit 仕様
製 法 - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型 - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位 - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト - B、P、As、Sb
厚 み μm ≧1.0
*抵 抗 率 Ω・㎝ 0.001 ~ 10000
*埋 込 み 酸 化 膜 μm 0.05 ~ 10
支 持 基 板 仕様
製 法 - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型 - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位 - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト - B、P、As、Sb
*厚 み μm JEITA・SEMI標準 / 200 ~ 1500
*抵 抗 率 Ω・㎝ 0.001 ~ 10000
     
備 考 *詳細仕様は別途お問合せ下さい