パーティクル管理品
各サイズのパーティクル管理品を提供しております。
| 項目 | 規格 | |||
|---|---|---|---|---|
| 成長法/Growth Method | CZ | |||
| サイズ/Inch | 5” | 6” | 8” | 12” |
| 厚み/Thickness | 625±25um | 625±25um 675±25um |
725±25um | 775±25um |
| 結晶方位/ Crystal orientation | ＜100＞ / ＜111＞ / ＜110＞ / 不問 | |||
| ノッチ・オリフラ方位/ Notch orientation | ＜100＞ / ＜111＞ / ＜211＞ / 不問 | |||
| 表面/Front side | MP | MP | MP | MP |
| 裏面/Back side | ET | ET | ET | MP |
| タイプ・ドーパント/Type・Dopant | P型 / N型 | |||
| 抵抗値/Resistivity | 1-100ohm-cm | |||
| オリフラorノッチ/Orientation flat or Notch | オリフラ | オリフラorノッチ | オリフラorノッチ | ノッチ |
| パーティクル/Particle | 0.037≦50 ～ 0.3um≦10 | |||
| 表面金属(atoms/㎠) | Fe,Cr,Ni,Cu,Zn,K,Na,Ca,Al ≦1E10 or ≦5E10 | |||
| 数量(atoms/㎠) | 25枚/ケース | |||
| 梱包形態 | アルミパック シュリンク | |||
| 備考 |
1. ご指定の抵抗値はお問い合わせ下さい。 2. パーティクル ご指定のパーティクルはお問い合わせ下さい。 3. 表面金属汚染（ライン保証のご指定はお問い合わせ下さい。 4. その他ご要望がございましたらお気軽にお問合せ下さい。 |
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