膜付ウェーハ
ウェーハへの膜付加工を行った製品を「膜付ウェーハ」と呼びます。ウェーハの成膜プロセスには、絶縁膜としての層間絶縁材料、導電材料としての金属膜、プロセス材料としてのレジストなど、また保護膜などが含まれます。
3-4インチ膜付きシリコンウェーハ
下記は当社保有のスパッタリングターゲットです。自由な組み合わせで膜付きウェーハが作成可能です。
| METALS | Au、Al、Ag、B、C、Co、Cr、Cu、Fe、Ge、Hf、In、Ir、Mg、Mn、Mo、Nb、Ni、Pd、Pt、Rh、Ru、Si(N型)（1～50Ω･cm）、Si(P型)（1～50Ω･cm）、Si(N型)(高抵抗)（1000Ω･cm以上）、Si(N型)(高抵抗)（5000Ω･cm以上）、Sn、Ta、Ti、V、W、Y、Zn、Zr |
|---|---|
| SILICIDES | CoSi2、MoSi2.5、NiSi2、TaSi2、TiSi2、WSi2、WSi2.5、ZrSi2、CrSi2 |
| NITRIDES | AlN、BN、Mo2N、Si3N4、ZrN |
| CARBIDES | SiC、TiC |
| ALLOYS | Al-Cu、Al-Nd、Al-Sc、Al-Si、Al-Si-Cu、Al-Ti、Au-Sn、Cu-Ni、Co-Cr、Fe-Co、Ni-Cr、Ni-Fe、Ni-V、TiW |
| OXIDES | Al2O3、AZO、BaTiO3、CeO2、CuO、Fe2O3、Ga2O3、Gd2O3、HfO2、In2O3、ITO、IZO、LiCoO2、LiMn2O4、LiNbO3、Li3PO4、MgO、Mn2O3、Nb2O5、NiO、PZT、RuO2、SiO、SiO2、SnO、SnO2、SrRuO3、SrTiO3、Ta2O5、TiO2、WO3、Y2O3、ZnO、ZrO2 : Y2O3 |
4-6インチ熱酸化膜付きウェーハ
| 仕様 | ||
|---|---|---|
| サイズ | 4インチ | 6インチ |
| 直径 | 100±0.5mm | 150±0.5mm |
| 導電型 | P型 | |
| 抵抗値 | 1-100Ω・cm | |
| 厚さ | 525±25μm | 625±25μm |
| 熱酸化膜厚 | 500nm±10％ | |
| 数量 | 25枚から | |
- 【特記事項】
-
- Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
- ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。
- ※在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。
4-6インチ熱酸化膜10000Å(両⾯)付Siウェーハ
| 仕様 | ||
|---|---|---|
| サイズ | 4インチ | 6インチ |
| 直径 | 100±0.2㎜ | 150±0.2㎜ |
| 厚さ | 525±25μm | 625±25μm |
| 導電型 | P型 | |
| ⾯状態 | ⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド | |
| 抵抗値 | 1-100Ω・cm | |
| 熱酸化膜厚 | 10000ű10％ | |
| 数量 | 25枚から | |
- 【特記事項】
-
- Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
- ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。
- ※在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。
6インチ熱酸化膜20000Å(両⾯)付Siウェーハ
| 仕様 | |
|---|---|
| サイズ | 4インチ |
| 直径 | 150±0.2㎜ |
| 厚さ | 625±25μm |
| 導電型 | P型 |
| ⾯状態 | ⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド |
| 抵抗値 | 1-100Ω・cm |
| 熱酸化膜厚 | 20000ű10％ |
| 数量 | 25枚から |
- 【特記事項】
-
- Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
- ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。
- ※在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。
6インチ熱酸化膜100000Å(両⾯)付Siウェーハ
| 仕様 | |
|---|---|
| サイズ | 6インチ |
| 直径 | 150±0.2㎜ |
| 厚さ | 625±25μm |
| 導電型 | P型 |
| ⾯状態 | ⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド |
| 抵抗値 | 1-100Ω・cm |
| 熱酸化膜厚 | 100000ű10％ |
| 数量 | 25枚から |
- 【特記事項】
-
- Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
- ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。
- ※在庫品ではありません。納期は受注後8～9週間程かかります。
- ※特注の厚膜品のため、膜の密着性等の保証は不問となります。